管式加热炉的特征（前言）：
（1）被加热物质在管内流动，故仅限于加热气体和液体，而且，这些气体或液体通常都是易燃易爆的烃类物质，同锅炉加热水和蒸汽相比，危险性大，操作条件要苛刻得多。
（2）加热方式为直接受火式，加热温度高，传热能力大。
（3）只烧气体或液体燃料。
（4）长周期连续运转，不间断操作，便于管理。
对许多金属和金属合金一个有趣的争论就是，他们是通过物理气相沉积(pvd)还是通过化学气相沉积(cvd)能得到最.好的沉积效果。尽管cvd比pvd有更好的台阶覆盖特性，但目前诸如铜的子晶层和钽氮扩散层薄膜都是通过pvd来沉积的，因为现有的大量装置都是基于pvd系统的，工程技术人员对pvd方法也有较高的熟练程度。一些人建议，既然台阶覆盖特性越来越重要(尤其是在通孔边墙覆盖)，cvd方法将成为必不可少的技术。相似的争论也存在于产生低k值介质材料方面：是使用cvd方法好还是采用旋涂工艺好？
在化学气相沉积中，决定晶圆间薄膜均匀性的重要参数之一是晶圆间的气体是如何流动的。上图所示是novellus概念下three altus系统中，一个晶圆及其基座上的sih4集中度和钨沉积率的典型路径图。
产品用途
本系列设备适用于科研单位、高等院校、工矿企业理想的实验和生产设备
主要用于高温精密退火、微晶化、陶瓷釉料制备、模具退火、粉末冶金、塑胶粉沫实验、纳米材料的烧结、金属零件淬火及一切做高温工艺要求的热处理
产品特点
壳体采用优质冷轧钢板双层结构独特设计，壳体颜色漆经过高温烘烤而成，经久耐用。
配有风冷系统，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快等优点。
真空系统采用特种设计，具有操作方便、真空度高、真空泄露小，（极限真空度：10-5pa）
密封系统采用不锈钢法兰与炉管及耐高温o型硅橡胶密封，气体经过流量计后由针阀开关控制，阀控配有进气阀、排气阀、抽真空阀，可充氮气、氩气等一切惰性气体
炉膛采用进口复合氧化铝纤维材料经独特工艺构筑，比传统电炉节能30%
控制系统采用微电脑人工智能调节技术，具有50段程序编程，并可编制各种升温、恒温、降温程序，控温精度高
晶体模块化可控硅控制、移相触发；采用优质加热元件
控制面板：全部采用数字化控制具有（超温、超压、超流、断偶、断电等保护功能）
（炉管、加热区可根据客户要求定制！）

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